超分辨顯微鏡制樣時，需要注意的要點主要涉及樣品的制備質量、儀器的穩定性以及操作過程中的細節。以下是根據參考文章中的信息整理的制樣注意要點：

一、樣品制備質量

樣品表面平整度：確保樣品表面平整且干凈，避免有雜質、氧化物等物質的存在。不平整的表面可能導致成像效果不佳或數據解讀困難。

樣品固定性：使用適當的方法將樣品固定在樣品臺上，如采用碳膜覆蓋、金屬蒸鍍等技術。固定不牢可能導致樣品在觀察過程中移動或損壞。

樣品尺寸和形狀：根據實驗需要選擇合適的樣品尺寸和形狀。過大或過小的樣品都可能影響成像效果。

樣品干燥性：確保樣品干燥，不含可揮發性液體，以避免影響真空度和污染樣品倉。

二、儀器穩定性

預熱和真空泵操作：確保儀器進行預熱和真空泵的抽空操作，以提高電子源的穩定性和消除儀器中的氣體。

儀器檢查：檢查樣品架、探針和檢測裝置等關鍵部件的位置和狀態，確保儀器的各項指標符合要求。

三、操作過程細節

上樣和滴油：在上樣前，將載物臺向上移動，將鏡頭與樣品分開，以防鏡頭碰壞。使用適合折射系數的鏡油。

尋樣和拍照：選擇合適的Z軸位置進行微調，找到合適的樣品后進行拍照。注意設定好Z軸上下端和通道，以及保存目錄。

下樣和清潔：將載物臺升高后取下樣品，用擦鏡紙將鏡油吸掉，并用無水乙醇將鏡油擦干凈。

操作穩定性：在觀測和成像過程中，保持儀器的穩定性，避免任何外界干擾。小幅度地進行微調，以獲得清晰的像像和準確的位置。

四、特殊注意事項

樣品污染：對于多孔類樣品（如陶瓷片、水凝膠、海綿等），制樣時盡量保證樣品平整性，體積不宜過大，以避免污染樣品室。

導電性處理：對于不導電的樣品，進行鍍膜處理，以避免污染樣品室。

避免強磁類樣品：特別是磁性粉末，以避免對儀器產生干擾。

總結來說，超分辨顯微鏡制樣時需要注意樣品的制備質量、儀器的穩定性以及操作過程中的細節。通過遵循這些要點，可以確保獲得高質量的成像效果，為科研工作提供有力支持。